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質子交換爐

更新時間:2022-06-25 11:51:02

簡要描述:

本產品可應用于半導體行業的離子交換、離子擴散等技術領域,具有溫度控制精準、恒溫區場范圍大、可編程自動控制和超溫自動斷電保護等特點,目前已經成功應用于光通信領域的光學波導芯片制作,可提供不同爐體尺寸、爐管材料和坩堝材料的定制任務。

本產品可應用于半導體行業的離子交換、離子擴散等技術領域,具有溫度控制精準、恒溫區場范圍大、可編程自動控制和超溫自動斷電保護等特點,目前已經成功應用于光通信領域的光學波導芯片制作,可提供不同爐體尺寸、爐管材料和坩堝材料的定制任務。

溫控范圍:室溫-600℃

溫度精度:±1℃

恒溫區橫向長度:10cm-100cm

恒溫區徑向長度:10cm-150cm

爐管材料:高純石英、高純剛玉等

坩堝材料:高純石英、高純剛玉等



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天津市電爐制造總廠-實驗電爐-質子交換爐擴散爐

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