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低溫擴散爐

更新時間:2022-08-12 20:09:16

簡要描述:

本產品可應用于半導體行業的低溫退火、離子擴散等技術領域,具有溫度控制精準、恒溫區溫場范圍大、可編程自動控制和超溫自動斷電保護等特點,目前已成功應用于光通信領域的光學波導芯片制作??商峁┎煌瑺t體尺寸、爐管材料和坩堝材料的定制任務。

溫控范圍室溫~600℃    溫控精度±1℃?

恒溫區橫向長度10cm-100cm 

恒溫曲徑向長度10cm-150cm 

爐管材料高純石英、高純剛玉等

坩堝材料高純石英、高純剛玉等

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天津市電爐制造總廠-實驗電爐-質子交換爐擴散爐

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